スパッタ装置の修理 当社実験用スパッタ装置の調子が悪く、ついに修理しました。 程度の良い中古クライオポンプを譲って頂けたので、早速交換したところ調子が戻りました。ありがとうございました。 スパッタでの成膜実験や、装置修理のご用命ありましたら、気軽にお問い合わせください。 クライオポンプ