株式会社シナノ精機-新潟県長岡市

顧客満足と技術力を限りなく追求し社会に貢献する

07月

枚葉式洗浄装置のご紹介

シナノ精機では、株式会社MTK様の枚葉式洗浄装置をOEM製造しております。
MTK社ではお客様のご要望に基づきプロセス条件を提案し、装置仕様を決定しています。
シナノ精機は、これまで培った半導体製造装置製造の経験と実績で、この高性能な装置を安価でご提供するための装置製造を実現しました。

MTK社枚葉式洗浄装置

MTK社の枚葉式洗浄装置は浸漬式・バス式と比較し、以下のようなメリットがあります。
* ウエハー表面のパーティクル数が極めて少い
* 薬液・純水の消費量が少なくコストパフォーマンスに優れている
* 装置サイズが小さく、カスタマイズが可能
* 枚葉式特有のオプション(ベルヌイチャック、2流体ジェット、ブラシ洗浄等)の活用

なお、枚葉式洗浄装置の用途は半導体ウエーハだけでなく、下記さまざまな用途に対応が可能です。
* 半導体(前工程・後行程)
* SAWフィルター等のセンサー
* ハードディスク
* FPD(液晶、スマートフォン等)。マスク洗浄
* MEMS
* 太陽電池

お問い合わせは当社またはMTKまで。