事業内容
1.半導体関連
・ALD装置(OEM)
・PECVD装置(OEM)
・スピンエッチャー(OEM)
2.有機EL、太陽電池関連
・蒸着装置
・スパッタ装置
・アニール装置
・加熱冷却装置
3. レーザー加工機(水ジェット誘導式レーザー加工機)
・SYNOVA社(スイス)装置ノックダウン生産
・SYNOVA社IPを使用した各種専用機(国産機)
4.その他
・ハードディスクラッピング装置(OEM)
・JEL製ロボットOH(認定工場)
・メカ系組立
・電気系機体配線
・ガス配管
・ハーネス製作
・客先据付、立上げ、メンテナンス
・設計製作

