株式会社シナノ精機-新潟県長岡市

顧客満足と技術力を限りなく追求し社会に貢献する

事業内容

真空装置を得意技術とし、半導体製造装置および有機EL関連ほか各種工業用機械を設計、製造、販売しています。また、OEMや試作機の受託製造等に多くの実績を持ちます。

1.半導体関連装置

・ALD装置(OEM)
・PECVD装置(OEM)
・枚葉式洗浄装置(OEM)

枚葉式洗浄装置

枚葉式洗浄装置

2.有機EL、太陽電池関連装置

・蒸着装置
・スパッタ装置
・アニール装置
・加熱冷却装置

3.その他 設計・組立・配線等

・JEL製ロボットOH(認定工場)
・各種装置改造/修理
・メカ系組立
・電気系機体配線
・ハーネス製作
・客先据付、立上げ、メンテナンス
・設計製作

ウエーハ上のパーティクル測定

ウエーハ上のパーティクル測定

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