装置の設計からアフターサービスまで
シナノ精機は協力会社の連携により、装置の設計からアフターサービスに至るライフサイクルすべてをサポートしています。
MTK社製枚様式洗浄装置
■精密洗浄装置半導体のウエーハやハードディスク等精密部品の洗浄に使用される枚様式の精密洗浄装置です。
パーティクルや薬液、金属などの汚染を洗浄。ウエーハを1枚ずつ洗浄枚様式のため、多品種少量生産や高機能の洗浄に適しています。
半導体ウェハ（SiC、GaN、シリコン、サファイア等）、MEMS
ウェハ材質：SiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板
ウェハサイズ：２～１２インチ 処理チャンバー数：１～４
薬液：最大２種類（オプション：３種類）
設計製作装置
■プラズマエッチング処理装置
減圧化のガラス管の中にプラズマを発生させ、そのプラズマ中にワークを通し、表面処理をする事によりコーティングの密着性を向上させる装置です。
量産用途の装置で、連続稼働が可能です。
ＵＶ処理より強く、ブラストや研磨より弱い処理ができ、細くて長いワークに加工が可能です。
装置は小型でランニングコストが安価です。