クリーンブース

３台:Ｗ5000×Ｄ5000×Ｈ4000ｍｍ

ヘリウムリークディテクター

２台

各種工作機

汎用旋盤/フライス盤/ボール盤

クレーン

2.8ｔ対応:２台

フォークリフト

2.8ｔ対応　構内用ﾊﾞｯﾃﾘｰﾌｫｰｸ