事業内容
真空装置を得意技術とし、半導体製造装置および有機EL関連ほか各種工業用機械を設計、製造、販売しています。
また、OEMや試作機の受託製造等に多くの実績を持ちます。
半導体関連装置
・ALD装置(OEM)
・PECVD装置(OEM)
・枚葉式洗浄装置(OEM)
設計・組立・配線等
・JEL製ロボットOH(認定工場)
・各種装置等の設/製作/改造/修理
・メカ系組立
・電気系機体配線
・ハーネス製作
・客先据付、立上げ、メンテナンス
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