年の瀬となってまいりました。

さて本日は、2015年よりシナノ精機で製造を請け負わせて頂いている、株式会社MTK社の枚様式洗浄装置をご紹介致します。

MTK社の洗浄装置は、半導体のウエーハやハードディスク等精密部品の洗浄に使用される枚様式の精密洗浄装置です。半導体の製造にはわずかなゴミも許されません。ゴミと言っても数μ以下の埃（業界用語でいうパーティクル）や薬液、金属などの汚染で、半導体製造工程の要所要所でウエーハを洗浄し、汚れを取り除く必要があります。また枚様式とはウエーハを1枚ずつ洗浄する方式で、多品種少量生産や高機能の洗浄に適しています。

MTK社は半導体のプロセスエンジニアが立ち上げたベンチャー企業です。その強みを生かし、お客様のご要望に最適なプロセス条件やオプションを提案し、顧客を着実に増やしてきました。また、費用対効果やフットプリントに優れているのも同社の洗浄装置の特徴です。シナノ精機は装置製造を通じ、その実現に貢献させて頂きたいと考えます。

本日シナノ精機の工場で洗浄装置が完成しました。装置の仕様や動作の最終確認が終わり、出荷を待っています。この後、装置は梱包され、お客様の工場に納入されます。

本装置が今年最後の出荷検査です。来年はさらに多くの、また色々な仕様の洗浄装置の製造をさせて頂く予定です。

洗浄装置につきましては弊社またはMTK社にお問い合わせください。